Kako smanjiti kontaminaciju uljem u visoko-vakuumskim difuzijskim pumpama

1. Značajke dizajna i hardverska rješenja (najvažnije)

Ugradite zamku za ulje -tipa pregrade ili kišobrana
Pregrada-u stilu labirinta između izlaza difuzijske pumpe i vakuumske komore pomaže blokirati uljne pare da putuju izravno u komoru.

Koristite hladnu zamku (najučinkovitije rješenje)
Hladna zamka postavljena iznad pumpe kondenzira uljnu paru prije nego što stigne do komore. Hlađenje se može osigurati tekućim dušikom, rashlađenom vodom ili rashladnim sustavom. Ovo je jedan od najučinkovitijih načina za sprječavanje backstreaminga.

Odaberite tekućine za difuzijske pumpe s niskim{0}}tlakom-pare
Koristite visoko{0}}kvalitetna ulja na bazi-silikona kao što je Dow Corning DC‑704 tekućina za difuzijsku pumpu ili Dow Corning DC‑705 tekućina za difuzijsku pumpu. Tekućine s nižim tlakom pare značajno smanjuju rizik od kontaminacije.

2. Dobre operativne prakse (često zanemarene)

Slijedite pravilan redoslijed pokretanja-i isključivanja
Uvijek dopustite da difuzijska pumpa postigne radnu temperaturu prije nego što počne puno pumpanje. Prilikom isključivanja prvo isključite grijač i pustite crpku da se ohladi prije zaustavljanja prednje pumpe. Iznenadni gubitak prednjeg crpljenja dok je pumpa vruća može uzrokovati ozbiljno povratno strujanje ulja.

Nikada ne odzračite pumpu dok je vruća
Upuštanje zraka u vruću difuzijsku pumpu može brzo oksidirati i razgraditi ulje pumpe, stvarajući onečišćenja i povećavajući rizik od prenošenja ulja.

Održavajte stabilno i odgovarajuće hlađenje
Pravilan protok vode za hlađenje je bitan. Loše hlađenje smanjuje učinkovitost kondenzacije pare i povećava vjerojatnost da uljna para migrira uzvodno.

3. Održavanje i rutinska njega

Redovito mijenjajte ulje pumpe
Nemojte čekati da ulje postane tamno ili viskozno. Staro ulje ima viši tlak pare i sklonije je onečišćenju i povratnom strujanju.

Održavajte unutrašnjost pumpe čistom
Povremeno očistite tijelo pumpe, sklop mlaznice i pregrade. Uljni ostaci i naslage mogu se ponovno -uvući u struju pare.

Održavajte dobar prednji vakuum
Ako je tlak prednje pumpe previsok, mlaz pare postaje nestabilan, što povećava povratni tok ulja.

4. Napredne mjere za ultra-čiste aplikacije

Ugradite visoki{0}}vakuumski izolacijski ventil
Ventil između komore i difuzijske pumpe omogućuje da sustav bude potpuno izoliran kada se pumpa ne koristi, sprječavajući bilo kakvu migraciju uljnih para.

Koristite pumpe-bez ulja tamo gdje je čistoća kritična
Za primjene poput obrade poluvodiča ili precizne optike, mnogi sustavi zamjenjuju difuzijske pumpe turbomolekularnim pumpama, poput onih koje proizvode Pfeiffer Vacuum ili Edwards Vacuum, kako bi se u potpunosti eliminiralo onečišćenje uljem.